苏州海思微电子科技有限公司是专业从事步进式投影光刻机、全自动光刻机 (Mask Aligner) 研发、制造与销售,在2018年开始销售第一台量产型全自动光刻机,累计超过70台装机量并平稳运行。 海思掩模对准可容纳 300 mm 产品,兼容不容形状和厚度的晶圆和基片,应用于MEMS,集成电路、混合模块、化合物半导体、光电模块、3D封装,光学器件、功率器件,微纳米加工等各个领域。
目前已与国际多家知名半导体制造企业、研究所建立了合作关系,我们拥有在半导体设备制造和光刻领域等经验丰富的专业团队,海思科技秉承为客户提供优质 的技术方案,且不断优化业务结构和提升服务品质,持续为客户提供高品质服务。
海思科技产品:
化合物半导体专用全自动接触式光刻机 (Mask Aligner)
功率器件专用全自动光刻机(Mask Aligner)
MEMS传感器 全自动掩膜版光刻机(Mask Aligner)
步进式投影光刻机(化合物、MESM、功率器件等领域单面或双面光刻工艺)
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